O Imec demonstra a primeira fabricação em escala de wafer de nanoporos de estado sólido usando litografia EUV

O avanço possibilita aplicações ajustáveis e de alta precisão em biossensoriamento em ciências da vida e saúde

LEUVEN, Bélgica, 9 de dezembro de 2025 /PRNewswire/ —

• O Imec conseguiu a primeira fabricação bem-sucedida em escala de wafer de nanoporos em estado sólido usando litografia EUV em wafers de 300 mm. Essa inovação transforma a tecnologia nanopore de um conceito em escala de laboratório em uma plataforma ajustável para biossensoriamento, genômico e proteômico.
• Nanoporos são considerados transformadores para genômica e proteômica, mas, até agora, nanoporos de estado sólido nunca foram produzidos em massa devido a desafios de variabilidade e integração. O avanço do Imec abre caminho para matrizes de biossensores de alta capacidade e compatíveis com CMOS, que podem acelerar a medicina personalizada, diagnósticos rápidos e armazenamento de dados moleculares.
• Fabricação em escala de wafer usando litografia EUV em wafers de 300 mm de nanoporos de até ~10 nm com alta uniformidade através do wafer. O processo de fabricação se apresenta como uma promessa para alcançar tamanhos de poros abaixo de 5 nm com aprimoramentos adicionais nas técnicas de integração do processo. A caracterização da translocação elétrica e bio-molecular demonstrou uma alta relação sinal-ruído de 6,2.
• “O Imec está em uma posição única para dar esse salto. Podemos aplicar a litografia EUV – tradicionalmente reservada para memória e lógica – às ciências da vida. Ao aproveitar nossa infraestrutura de litografia, mostramos que os nanoporos em estado sólido podem ser fabricados em escala com a precisão necessária para o sensoriamento molecular”, disse Ashesh Ray Chaudhuri, primeiro autor e gerente de projetos de P&D no Imec. “Isso abre a porta para matrizes de biossensores de alta capacidade para cuidados médicos e muito mais.”

Sobre o Imec
O Imec é um centro de pesquisa e inovação líder mundial em tecnologias avançadas de semicondutores. Aproveitando sua infraestrutura de P&D de ponta e a experiência de mais de 6.500 funcionários, o Imec impulsiona a inovação em escalabilidade de semicondutores e sistemas, inteligência artificial, fotônica de silício, conectividade e sensoriamento.

A pesquisa avançada do Imec possibilita avanços em uma ampla gama de setores, incluindo computação, saúde, automotivo, energia, infoentretenimento, indústria, agroalimentar e segurança. Através do IC-Link, o Imec orienta as empresas em cada etapas da jornada do chip, desde o conceito inicial até a fabricação em larga escala, fornecendo soluções personalizadas adaptadas para atender às necessidades mais avançadas de design e produção.

O Imec colabora com líderes globais de toda a cadeia de valor dos semicondutores, bem como com empresas de tecnologia, startups, universidades e instituições de pesquisa em Flandres e em todo o mundo. Com sede em Leuven, Bélgica, o IMEC possui instalações de pesquisa na Bélgica, na Europa e nos EUA, e com representação em três continentes. Em 2024, o Imec registrou receita de EUR 1,034 bilhão. Para mais informações, acesse www.imec-int.com

Comunicado de imprensa completo: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography

Logo – https://mma.prnewswire.com/media/2839859/imec_Logo.jpg

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FONTE Imec